作為大氣污染的重要來源，工業(yè)廢氣的高校治理尤為重要。由于生產的工藝不同，工業(yè)廢氣產生的污染物種類也不同，不同污染物種類應采用不同的處理工藝。目前，市場上常見的工業(yè)廢氣治理技術主要有：干法脫硫、濕法脫硫、物理/化學吸收法、煙氣脫硝、稀釋法、堿液中和法等等, 由于使用不同的吸收劑可獲得不同的副產物而加以利用，因此濕法脫硫是各國研究多的方法。由于工業(yè)廢氣的成分越來越復雜，單一的廢氣處理技術方法很難達到理想的處理效果。業(yè)內人士認為，綜合兩種或兩種以上處理技術，以及占地空間小、處理效率高的設備將受到市場關注。 資料顯示，治理惡臭廢氣的核心技術是靜電等離子廢氣治理技術，輔助技術是酸堿洗滌技術和生物膜過濾技術。靜電等離子技術是靜電技術與等離子技術的完美結合的復合技術，將靜電技術的吸附和凝聚特性與等離子技術的荷電和裂解特性有機組合，形成了靜電等離子技術的四大技術優(yōu)勢：荷電、裂解、吸附和凝聚，而廢氣的凈化就是這四種特性共同作用完成的。

與熱力燃燒法相比，其所需的燃料少，能量消耗低，設備設施的體積小。在化學反應過程中，利用催化劑降低燃燒溫度，加速有毒有害氣體完全氧化的方法，叫做催化燃燒法。由于催化劑的載體是由多孔材料制作的，具有較大的比表面積和合適的孔徑，當加熱到300——450℃的有機氣體通過催化層時，氧和有機氣體被吸附在多孔材料表層的催化劑上，增加了氧和有機氣體接觸碰撞的機會，提高了活性，使有機氣體與氧產生劇烈的化學反應而生成CO2和H2O，同時產生熱量，從而使得有機氣體變成無害氣體。催化劑是一種能改變化學反應速度，而在反應前后其本身的化學性質沒有改變的物質。催化劑通常是由催化活性材料和催化載體構成。催化活性材料一般是金屬或金屬氧化物。其中貴重金屬催化劑主要有鉑、鈀和釕等，普通金屬催化劑主要有銅、鉻、鎳、釩、錳、鐵、鈷等金屬及氧化物。催化載體是多孔材料，主要作用是使活性材料具有大的體表面積。