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1、在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學能，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質原子或無害分子。
2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應， 生成無害產物。
3、物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
4、生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使生物表面產生
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現(xiàn)在國內根據(jù)低溫等離子體工業(yè)廢氣處理技術研發(fā)出相應的標準化廢氣治理設備，歸于根本是利用一些化學反應的化學鍵拆分，得到無害的氣體分子，從而達到環(huán)保排放煙氣的標準要求。具體是利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、化，保護人類生存環(huán)境。
低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構成就單一緊湊，在運行費用方面，觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。
