1、在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學(xué)能，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質(zhì)原子或無害分子。

2、等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場(chǎng)作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時(shí)產(chǎn)生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)， 生成無害產(chǎn)物。

3、物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場(chǎng)作用下，顆粒污染物被集塵極收集。

  4、生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機(jī)理為：等離子體中的正負(fù)粒子使生物表面產(chǎn)生

溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢(shì)顯著。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達(dá)到氣態(tài)污染物的目的。

噴漆廢氣中的三苯濃度一般低于300mg/m3低濃度、大風(fēng)量的有機(jī)廢氣治理，采用催化燃燒法(適用于濃度大于500mg/m3)處理不合適,所以只能用低溫等離子廢氣處理設(shè)備來處理這種類型的工業(yè)廢氣。(適應(yīng)于家具廠、鞋廠、五金廠、電子廠、工藝品廠、印染廠、塑料制品廠等等)同樣，等離子技術(shù)處理涂裝系統(tǒng)廢氣，油墨廢氣，高壓靜電式的印刷印染廢氣都有